對生產過程中副產物的重復利用就是“繼續(xù)改良”的課題之一。在用改良西門子法生產多晶硅的過程中，主要副產物為四氯化硅。每生產1千克多晶硅將產生10-15千克四氯化硅。可以說，對副產物四氯化硅的處理是多晶硅產業(yè)的一個瓶頸問題。“在改革開放之初，我國曾經有數十個多晶硅項目，但后來紛紛下馬，一個重要原因是四氯化硅的問題沒有得到解決。”沈祖祥說。

　　    據四川新光硅業(yè)科技有限責任公司總經理陳紹章介紹，國際上，四氯化硅副產物的綜合利用主要有兩個方向，一個發(fā)展方向是用四氯化硅作原材料生產其他化工產品，包括白炭黑、硅酸乙酯、光纖預制棒和有機硅等；另一個發(fā)展方向就是在多晶硅生產過程中把四氯化硅轉化為三氯氫硅，對四氯化硅進行循環(huán)利用。

　　    對于前一個發(fā)展方向，由于中國的多晶硅產業(yè)還處于起步階段，還沒有形成副產物加工處理的產業(yè)鏈條，同時，在生產其他化工產品的過程中不可避免地還會產生新的副產物，如鹽酸，因此，這種處理方式還面臨很多難題。“近幾年來，中國多晶硅產業(yè)呈幾何級數發(fā)展，預計今年的產量將超過4萬噸，因此，將產生40萬噸～60萬噸四氯化硅副產物。采用生產其他化工產品的方法無論如何都無法容納如此巨量的四氯化硅。”陳紹章說。

　　    目前，我國對四氯化硅進行循環(huán)利用的氫化技術已經成熟。對四氯化硅進行循環(huán)利用也存在兩條技術路線。一條路線是冷氫化技術，就是在高壓和低溫(550℃)的條件下用硅粉、氫氣和氯化氫與四氯化硅進行反應；另一條路線是熱氫化技術，就是在1200℃的溫度下用氫氣與四氯化硅進行反應。

　　    陳紹章對熱氫化和冷氫化兩種工藝進行了比較，他說；“在實際生產中，四氯化硅熱氫化的一次轉換率達到20%，循環(huán)過程中每產生1千克三氯氫硅耗電量約為3.5千瓦時，氫化過程中產生的三氯氫硅和氯化氫都將全部直接回收到系統(tǒng)之中，不需要對三氯氫硅再次進行精餾。通過四氯化硅的熱氫化，每千克多晶硅的生產成本將降低40元。冷氫化工藝的操作壓力很高，并且在氫化過程中要加入硅粉。由于硅粉的硬度遠遠大于鋼材，因此對設備的磨損也會很大。此外，加入硅粉會對氫化以后的三氯氫硅的質量產生影響，還需要對其進行精餾處理。相比之下，熱氫化工藝的反應完全是氣相的過程，生成的三氯氫硅純度很高，并且便于計算機進行流程控制，其唯一的缺點是能耗會高于冷氫化工藝。”